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LCD導電性粒子検査顕微鏡MX 6 RT
LCD導電粒子検査顕微鏡MX 6 RTの各操作は人間工学に基づいて設計され、操作者の使用疲労を大幅に軽減する。そのモジュール化された部品設計は、システム機能を自由に組み合わせることができる。明場、暗場、斜め照明、偏光、DIC微分干渉などの多種の観察機能をカバーし、実際の応用に基づいて、機能選択を行う
製品の詳細
広視野ヒンジ式三眼観察筒
正像ヒンジの三眼観察筒は、結像方位が物体の実際の方向と同じであり、物体の移動方向が像面の移動方向と同じであり、観察と操作が容易である.
大移動プラットフォーム設計
6インチフラットプラットフォーム設計を採用し、ストローク158×158 mmで、対応するサイズのウエハやFPD検出に適し、小サイズサンプルのアレイ検出にも使用できる。
高精度対物レンズ変換器
コンバータは精密軸受設計を採用し、回転手触りが軽く快適で、繰り返し位置決め精度が高く、対物レンズ変換後の同心度も良好な制御を得ている。
安全で安定したラック構造設計
工業検査級顕微鏡体、低重心、高剛性、高安定性金属フレーム、システムの耐震能力とイメージング安定性を保証した。
その前置低手位粗微調整同軸焦点調整機構は、100-240 V幅電圧変圧器を内蔵し、異なる地域の電力網電圧に適応できる。シャーシ内部には風循環放熱システムが設計されており、長時間使用してもラックが過熱することはありません。
LCD導電性粒子検査顕微鏡MX 6 RT技術仕様
モデル |
MX6RT |
選択可能な観察方法 |
明視野/斜照明/偏光/DIC/透過光 |
光学系 |
無限遠色差補正光学系 |
接眼レンズ |
PL 10 X/22平場高眼点接眼レンズ |
かんそくとう |
30°ヒンジ式三眼、分光比、両目：三目＝100：0または50：50 |
対物レンズ |
LMPL無限遠長動作距離金相対物レンズ5 X、10 X、20 X、50 X、100 X |
コンバータ |
DICスロット付きインナ傾斜コンバータ5アナ |
ステージ |
4”二層機械移動プラットフォーム、ストローク105 x 105 mm、ガラスプラットフォーム付き、右手位置X、Y移動ハンドル、プラットフォームインタフェース付き |
けんびきょうたい |
粗微調整同軸、粗調整ストローク33 mm、微調整精度0.001 mm、、粗調整機構上限位及び締付け調整装置付き。90-240 V幅電圧トランスを内蔵し、2ウェイ電源出力 |
反射照明器システム |
可変視野絞りと開口絞りがあり、いずれも中心を調整することができる。カラーフィルタ付きスロットと偏光装置スロット、ランプ付き切り替えレバー。12 V 100 Wハロゲンランプ、光強度連続調整可能（この組の照明器を選択する時、MX-6 R型顕微鏡体を使用すべき） |
とうかしょうめいシステム |
単一の大出力5 W LED、白色、光強度は連続的に調整可能。N..A.0.5集光レンズ、可変開口絞り付き |
LCD導電性粒子検査顕微鏡撮影効果図：
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